POMPES À VIDE
COBRA BA 0100 B SÈCHES À VIS
Modèles Cobra BA 0100 B
Le modèle COBRA BA 0100 C est la pompe à vis sèche qui a largement fait ses preuves pour l’évacuation de sas de chargement et d’autres processus exigeants dans la fabrication de cellules photovoltaïques, d’écrans plats et de semi-conducteurs.
Bénéficiant d’un refroidissement par air efficace et de la vitesse de pompage la plus élevée de sa catégorie de performance, cette pompe à vide est idéale pour toutes les applications nécessitant une production de vide efficace, rapide et fiable. La technologie des pompes à vis COBRA est une technologie sans huile et sans contact, ce qui permet d’évacuer des fluides chargés de particules.
Haute efficacité
La pompe à vide COBRA BA 0100 C est équipée d’un moteur à haute efficacité comportant un mode de veille, ce qui garantit un potentiel d’économie énergétique optimal. La construction compacte de la pompe COBRA BA 0100 C requiert très peu d’encombrement et ses besoins énergétiques extrêmement faibles permettent de maintenir les coûts de fonctionnement au minimum.
Applications
- Dépôt chimique en phase vapeur au plasma à haute densité (HDP CVD)
- Traitement thermique rapide (RTP)
- Dépôt chimique en phase vapeur à pression sub-atmosphérique (SACVD)
- Dépôt chimique en phase vapeur d’organométalliques (MOCVD)
- Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
- Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD)
- Dépôt de couches atomiques (ALD)
- Sas de chargement de grande capacité
Caractéristiques techniques
La pompe COBRA BA 0100 C est une pompe à vide, double vis, mono-étagée. Les deux rotors à vis qui tournent à l’intérieur du cylindre piègent et compriment le fluide de pompage, qui est transporté vers le refoulement de gaz. Pendant le processus de compression, les rotors à vis ne sont en contact ni entre eux, ni avec le cylindre. Les lubrifiants et autres fluides de fonctionnement dans la chambre de compression sont donc superflus.Les derniers développements dans la conception à vis concernent l’intégration d’un palier à simple face, ce qui réduit sensiblement la consommation d’énergie et évite les températures de gaz élevées pendant la compression. La pompe COBRA BA 0100 C intègre de série un système de refroidissement à air efficace.
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